三坐標(biāo)即三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，它是指在三維可測(cè)的空間范圍內(nèi)，能夠根據(jù)測(cè)頭系統(tǒng)返回的點(diǎn)數(shù)據(jù)，通過三坐標(biāo)的軟件系統(tǒng)計(jì)算各類幾何形狀、尺寸等測(cè)量能力的儀器，又稱為三次元、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量儀。
三坐標(biāo)測(cè)量儀可定義為一種具有可作三個(gè)方向移動(dòng)的探測(cè)器，可在三個(gè)相互垂直的導(dǎo)軌上移動(dòng)，此探測(cè)器以接觸或非接觸等方式傳送訊號(hào)，三個(gè)軸的位移測(cè)量系統(tǒng)(如光學(xué)尺)經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計(jì)算機(jī)等計(jì)算出工件的各點(diǎn)坐標(biāo)(X、Y、Z)及各項(xiàng)功能測(cè)量的儀器。
如何減少三坐標(biāo)測(cè)量誤差?三坐標(biāo)直接用激光干涉儀等測(cè)量單項(xiàng)原始誤差，能以較高的精度檢測(cè)到這些誤差值。不足之處，是激光干涉儀價(jià)格昂貴、對(duì)環(huán)境條件要求高、對(duì)操作者的技術(shù)水平的要求也較高。
三坐標(biāo)測(cè)量儀誤差檢測(cè)方法可以分成兩大類：一類是用激光干涉儀等儀器檢測(cè)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的各個(gè)單項(xiàng)原始誤差；另一類是用球列、球板等實(shí)物基準(zhǔn)檢測(cè)檢測(cè)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的綜合誤差，然后分解出原始誤差。
在分解各項(xiàng)原始誤差時(shí)，一項(xiàng)重要基礎(chǔ)是三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)本身有很好的重復(fù)性。球列、球板等實(shí)物基準(zhǔn)需通過激光干涉儀進(jìn)行檢定，對(duì)球板本身的穩(wěn)定性有較高要求。在由綜合誤差分解為單項(xiàng)誤差時(shí)，難免有交叉影響，分解得到的原始誤差的不確定度比用激光干涉儀等直接測(cè)量要大。再則，一般步距或球間距不易做得很小，不像激光干涉儀可對(duì)三坐標(biāo)測(cè)量儀的各項(xiàng)誤差進(jìn)行連續(xù)檢測(cè)。
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